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板式PECVD上下料機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn)

最高產(chǎn)能可達(dá)到6000pcs/h 

可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制 

設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)定

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)相關(guān)參數(shù)
產(chǎn)速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
碳框尺寸 

10*10（5*5，5*6，8*10,9*10 可選）

硅片尺寸 

166mm-210mm

碎片率  ≤0.02%
開機(jī)率≥98%
功率15kW
耗氣量500L/min
具體參數(shù)如有變動(dòng)，本公司不另行通知！
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